OM
V5 光學檢測設備智慧自動化升級
V5 OM 自動化升級解決方案是將手動或半自動 OM 工具升級為全自動。所有檢驗都可以標準化和追蹤，以提昇品質管理。這是進入無人工廠與實現工業4.0的必須條件之一。
方案能力
可搭載整合升級的廠牌與型號：Nikon OST3100/3200 和 Olympus Al3300/3320。
巨觀自動拍照，提供晶圓影像讓人員離線審查瑕疵。
微觀自動拍照，提供晶圓影像讓人員離線審查瑕疵。
微觀自動量測 Bump CD/線寬/重疊/EBR/WEE測量穩定性在 1個像素偏差內。
多功能設定滿足所有質量保證規格。
線上與離線審查軟體
FAB 自動化支援（OHT + SECS/GEM）
AI ADC 軟體（選配）
可搭載整合升級的廠牌與型號：Nikon OST3100/3200 和 Olympus Al3300/3320。
巨觀自動拍照，提供晶圓影像讓人員離線審查瑕疵。
微觀自動拍照，提供晶圓影像讓人員離線審查瑕疵。
微觀自動量測 Bump CD/線寬/重疊/EBR/WEE測量穩定性在 1個像素偏差內。
多功能設定滿足所有質量保證規格。
線上與離線審查軟體
FAB 自動化支援（OHT + SECS/GEM）
AI ADC 軟體（選配）