OM
V5 光學檢測設備智慧自動化升級
方案能力
- 可搭載整合升級的廠牌與型號：Nikon OST3100/3200 和 Olympus Al3300/3320。
- 巨觀自動拍照，提供晶圓影像讓人員離線審查瑕疵。
- 微觀自動拍照，提供晶圓影像讓人員離線審查瑕疵。
- 微觀自動量測 Bump CD/線寬/重疊/EBR/WEE測量穩定性在 1個像素偏差內。
- 多功能設定滿足所有質量保證規格。
- 線上與離線審查軟體
- FAB 自動化支援（OHT + SECS/GEM）
- AI ADC 軟體（選配）