半導體晶圓缺陷檢驗智慧分類方案

本方案透過大數據影像深度學習分析,過濾AOI所產出的假缺陷圖片,達成降低紅點率的目標,可客製化針對各個客戶提出的缺陷項目進行分類,達成減少人工目視判別的目標。