半導體製程電弧智慧監控方案

本方案是針對Wafer於電漿去除機作業中發生的電弧,所設計之監控影像監控系統。透過影像演算法來監控與紀錄電弧的發生,提供即時性警示,以確保製程良率,並可藉由數據與影像協助工程師回朔當時的作業狀態,以利後續追蹤與改善。提供使用者簡單清楚、易操作的介面,紀錄與監控製程上的變化。