半導體蝕刻智慧控制方案

本方案是針對晶圓蝕刻製程變化所設計的智慧監控系統。透過影像演算法來監控與紀錄蝕刻時間,減少蝕刻液成本。另外也能避免過度蝕刻及底切問題產生,確保製程良率。